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QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO卡

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型號(hào):QRM-MicroCT-Barpattern-NANO 類別: 質(zhì)控模體 品牌:德國QRM pdf資料: QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO卡.pdf
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QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡,采用雙硅芯片相互垂直、通過塑料支架固定的設(shè)計(jì)理念,使兩個(gè)3 x 3 mm²芯片均呈現(xiàn)數(shù)組線狀或點(diǎn)狀圖樣,寬度和直徑從1µm到10µm不等。

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試技術(shù)參數(shù):
柱狀部分:
直徑:5.2 mm
總長:19.1 mm
材料:致密塑料

芯片部分:
直徑:2.96 mm
總長:0.66 mm
材料:硅
芯片上圖樣尺寸范圍:1µm至10µm
圖樣深度:5µm至15µm
對(duì)比材料:硅/空氣

QRM-MicroCT-Barpattern-NANO微型CT測試模體,MicroCT-Barpattern-NANO納米顯微CT柱狀測試卡芯片上有一個(gè)傾斜的邊緣(字母“L”字樣)以及一個(gè)西門子星卡圖樣(呈放射狀)。不同的圖樣結(jié)構(gòu)均以這樣的方式排布于芯片上,從而使用戶僅通過一次曝光和測量就可以對(duì)整個(gè)芯片的中心以及外圍的空間分辨率做出評(píng)估。
作為我們流行的MicroCT-BarPattern-Phantom的進(jìn)一步發(fā)展,我們現(xiàn)在推出BarPattern-NANO!

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技術(shù)指標(biāo)

基礎(chǔ)材料: 固體塑料(切屑放在空氣中的支撐件上-壁厚> 0.3 mm)
模體直徑: 5.2毫米
高度: 19毫米
硅芯片的措施: 3 x 3 x 0.66毫米
芯片上的結(jié)構(gòu)(分辨率): 分別為1至10 µm。500至50 LP / mm
芯片材質(zhì):
圖案對(duì)比 硅/空氣

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